OAI UV Led 光源-对准和均匀，适用于高要求的光刻应用。
BENEFIT 好处
Low Cost 低成本
Long Life 寿命长
Energy Efficient 率能源
Low Power Usage 低功率使用
No maintenance costs or lamp changes 没有维护费用或更换灯管
No Mercury. 没有汞
OPTIONS 选项
Free standing or can be integrated into any OAI 独立或可集成到任何OAI
lithography system 光刻系统
Variety of tooling modules available 可提供多种模具模块
Height adjustable LS stａnd available 高度可调的LS站
Single or multiple wavelength 单波长或多波长
FEATURES 特性
Beam size 4" to 12" sg. 尺寸为4 "到12 " sg
Wave length 365um, 405um or dual wave length 波长365um, 405um或双波长
Dual Wave Length Tuning available 可进行双波长调协
Beam uniformity better than +/- 4% 光束均匀性优于+/- 4%
Beam intensity up to ~25mW/cm2 光束强度可达~25mW/cm2
Easy to use touch screen interface 易于使用的触摸屏界面
Collimation angle <= 2 degrees 准直角< <= 2度
Dose control and timed exposure 剂量控制和定时曝光
USB remote interface for PC control USB远程接口的PC控制
Long working 长时间的工作
Tooling Module
Using UV Led Light
Source: 0.5um
Lines and Space
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