德国海德堡 Heidelberg 激光直写光刻机 MLA150

德国高精密激光直写绘图机
非接触式曝光
可支持 数位光刻与灰度光刻

MLA150专为便于操作而设计，涵盖过去30年中开发的激光直写设备的所有技术知识。它提供了单层和多层应用所需的所有功能，由于MLA150曝光是非接触式的，因此它可以克服无光罩曝光技术的局限性。

与其他图形产生器不同的地方不仅在于MLA150易于使用，还有极快的曝光速度。使用小至1微米的结构曝光100x100mm²的区域仅需要不到10分钟。透过使用三个不同分辨率的集成摄像头，可在2分钟内完成多层应用中的套刻对位，套刻对准精度优于500nm。

MLA150无光罩激光直写设备直接曝光图形的灵活性能，可提升在Life Science, MEMS, Micro-Optics, Semiconductor, Sensors, Actuators, MOEMS, Material Research, Nano-Tubes, Graphene及任何其他需要微结构等领域的工作效率。

功能

基板到9 x 9"

标准版:1µm结构

高分辨率版本:结构可达600纳米

暴露面积150 x 150毫米(200 x 200平方毫米可选)

非接触式曝光

光源为405 nm和375 nm

基于SLM光引擎

多种数据输入格式

校准精度为500纳米

背面对齐

实时自动对焦

抵制数据库

自动标记和序列化