德国海德堡Heidelberg激光直写光刻机μPG 101，升级新型号：UMLA

适合用于科研领域
台式激光直写机
操作简单，可支持灰度光刻

μPG101是一款经济实惠且易于操作的图形发生器，适用于直写和少批量的掩模板制作。该系统可用于MEMS、Bio MEMS、Integrated Optics、Micro Fluidics或任何其他需要高精度、高分辨率微结构的制作。

μPG101的面积仅为60x75cm²，设计精巧，将所有电子组件集成在系统中，由系统控制主机运作。基于Windows®的控制接口，使用户可以轻松进行数据转文件，经过手动或自动对准之后，即可开始曝光。

μPG101主要提供简单快速的方式来创建微结构。系统可透读写模块的更换，以满足不用的分辨率和写入速度的要求。它是市面上 达到亚微米结构的桌上型光刻系统，即使是偏小网格，依然具有非常高精度的结构。实时自动对焦系统可在曝光期间实时监控和校正聚焦位置，从而确保整个曝光区域的高分辨率和可重复性。精密网格和实时自动对焦装置是专业微图型发生器的标准要求。

μPG101的应用包括 Life Science 、MEMS 、 Semiconductor 、Sensors、Actuators、MOEMS、Material Research、Nano-Tubes、Graphene以及任何其他需要微结构的应用。

功能

写入速度高达90毫米²/分钟
基板6 x 6"
降至0.6µm结构

标准或紫外光源

多种数据输入格式

基本灰度曝光模式

对准摄像系统

多种可交换的写模式

矢量和栅格曝光模式