匀胶机 SM-150是手动或半自动薄膜涂覆的 佳选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸 大为150mm(6")127x127mm(5"x5")的基板上。工艺腔设计可满足 大直径为176mm。
SM系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力 小化，SAWATEC公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本 小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。 
功能（基本配置）
。可编程， 多50个程序(各包含24个程序段) 。适用于重复工艺的快速启动功能 。触摸屏面板控制，方便用户程序配置工艺参数：转速、加速度、工艺时间旋转方向可选(顺时针、逆时针) 。手动装卸基板
。通过具有安全保护的真空系统进行基板固定 。手动盖子带有空气入口和闭合安全保护工艺结束时的声音信号
性能数据
。速范围：0到10,000rpm +/-1rpm 。转速加速度：0–8,000rpm为0.8秒/0–10,000rpm为1秒1) 。减速度：10,000rpm-0为2.5秒/8,000rpm-0为0.8秒1) 。工艺时间 长为2376 s 。每个程序段的给胶时间为99 s
附加功能（可选项）
。半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 。工艺腔的手动氮气净化装置 。用于简化操作的“启动/停止"脚踏开关(电缆长度1.8m) 。经阳极电镀处理的铝制工艺腔 。铝制或PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗用于SM-150匀胶机的真空泵 。晶圆定位器2"–6"(圆形) 
旋转卡盘分类
为了达成涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择 佳的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具。
。真空卡盘小片 。真空卡盘1" 3"(圆形) 。真空卡盘100mm(4") 150mm(6") 。真空卡盘100x100mm(4"x4")真空卡盘125x125mm(5"x5")其他卡盘需咨询 
设计和尺寸
。桌上式版本 SM -150-BT， 。内嵌式版本 SM-150-BM 。紧凑且节省空间的结构形式 。POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性 。POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。透明盖板：玻璃制成 。具有3.5"彩色显示屏的触摸屏面板 。高精度，高动态的交流伺服电机 。经电解抛光处理的不锈钢外壳 。外壳(BT):350x510x403mm(长*宽*高）
。重量(BT):约29kg 。安装模块(BM):300x300x368mm(长x宽x 。安装面板320 x 166 x50mm(长x宽x 。重量(BM):约20kg 
接口
。230 VAC50/60Hz10A 。脚踏开关用插头接口 。技术真空，软管Ø6/4mm(-0.8bar)
。压缩空气或氮气软管Ø6/4mm(3bar) (于和给胶系统配合使用) 。排放接口Ø12mm 。BT废气接口Ø38mm(20–50m3/h) BM废气接口 | 
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