经过工艺优化的喷嘴能够结合低粘度的、特别适用于喷涂作业的光刻胶(例如Shipley1813、AZ4999、AZ9260、SU8等)生成 精细的小液滴。在一个封闭式工艺室中喷嘴经由“ "字型行进路径进行喷涂，由此可以确保整个基板表面上均匀的喷涂效果以及高度可再现性。该设备可用于圆形或正方形基板， 多可同时喷涂4个晶基

功能（基本配置）
。可编程， 多50个程序(各包含24个程序段)

。适用于重复工艺的快速启动功能

。触摸屏面板控制，方便用户程序配置

。工艺参数：喷嘴行进路径，喷洒臂速度，喷洒时间，锥形束形状电气驱动的喷洒臂，其在X或Y轴方向上的速度可选

。可调整的喷嘴，具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能

。手动装卸基板

。工艺结束时的声音信号

性能数据

。喷洒量：(50cl)容量的缓冲装置，结合具有液位检查功能的给胶泵

。喷洒介质的粘度：0.3至25 cSt (µPas)

。喷嘴：液滴尺寸小于7微米，典型：3微米

。喷洒臂的速度和定位精度： 大0.4 m/s；±0.1mm

。每个分段的喷洒时间： 长为9999秒，调节步幅为0.1秒

。喷洒循环的数目： 多20个曲回循环环境温度：+4至+60°C

附加功能(可选项)

。加热板 高温度为150°C，可用加热面为Ø300mm

。旋转卡盘 大转速为6,000rpm +/-1rpm 1)

。可加热的旋转卡盘， 大转速为1,500 rpm， 高温度为150°C

。喷嘴用Z升降轴

附加装备

X与Y方向上标准的喷洒方式还可与一个转动的旋转卡盘(带有或没有加热装置)相结合，进而改善特定形貌上喷涂的分布情况以及提高喷涂性。

此外，还可以在iSPRAY-300上装配一个加热板。这样一来，即使是高粘度的光刻胶也能对少量覆盖的孔洞进行有效成形， 以及确保边缘涂布。

设计和尺寸

。电解抛光不锈钢制成的可移动机身

。不锈钢制工艺腔体

。可观察工艺过程的玻璃前门

。用于喷嘴定位的精密AC伺服电机

。尺寸：850 x 750 x2333mm(长x宽x高)重量：约220kg