BW228-5FA全自动晶圆满贴片机

卖点

·SECS / GEM 功能

·全自动晶圆贴膜

·胶带消耗 小化

翘曲片取片

机台优势

·采用 UV-LED 灯组，无臭氧污染

·Loading / Unloading 卡匣数量多

·双屏幕方便操作

·重要统计数据可图表化

作业方式

操作人员将 6 吋晶圆卡匣（Loading）、晶圆出料卡匣（Unloading）、及各膜料放至预定位置后开始作业。

·步骤一：利用机械手臂，将 6 吋晶圆从卡匣（Loading）取出，经中心对位（Alignment）及正反面判读后，再放置于晶圆吸附平台上。

·步骤二：晶圆吸附平台移至胶膜贴合位，利用贴膜滚轮将胶膜贴至晶圆上。

·步骤三：切割刀下降至预定位置，旋转刀具切割膜料，切割完成后上升。

·步骤四：移载台移回至取片位。

·步骤五：出料取片手臂机构将晶圆从移载台取至 UV-LED 灯机构位进行照射。

·完成 UV 照射后，出料取片手臂机构再将成品取回，放至晶圆出料卡匣（Unloading），完成。

设备规格

设备应用范围

机台特性