一、【等离子去胶机】功能特点：

（01）耐用的高品质不锈钢结构和固定装置；

（02）不锈钢托盘设计，可调节托盘间距；

（03）8K 镜面不锈钢腔体；

（04）13.56MHz 数字高频等离子发生器；

（05）直观的触摸屏，过程参数实时监控；

（06）方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求；

（07）支持各种工艺气体，如：氩气，氧，氢，氦和氟化气体；

（08）两个标准的浮子针阀流量控制器，用户可以根据需要来调节；

二、【等离子去胶机】技术参数：

（01）射频频率：13.56 MHz

（02）射频功率：0-300W 可调

（03）腔体材质：进口 316 镜面不锈钢，级密封

（04）腔体尺寸：240(L)*280(D)*200(H)mm

（05）腔体有效处理面积：230（L）× 205（D）mm

（06）处理产品尺寸：可处理 8 寸晶圆，向下兼容 6 寸，4 寸晶圆

（07）放电电极：高导电铝合金专用电极

（08）放电形式：CCP & RIE 离子反应放电模式

（09）电极间距：可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，大大提升处理能力和效率

（10）气体流量控制器：浮子针阀流量控制器， 0-500ml/min

（11）气路数量：2 路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等 （如需接入腐蚀性气体，需提前告知）

（12）真空计：有真空计

（13）系统控制：4.3寸触摸屏PLC控制

（14）电源供应：220V

（15）气管接口：φ8mm

（16）气体纯度：99.99%

（17）气体压力：0.3~0.6Mpa

（18）排气口：KF25

（19）整机功率：1000W

（20）外形尺寸：600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)

（21）重量：80kg