一、光刻机曝光灯 应用领域：

在半导体生产的光刻中作为曝光光源。

二、技术参数：

1、电参数

• 电流类型：直流 (DC)

• 标称功率：350W

• 额定功率：350W

• 标称电压：68.0V

• 标称电流：5.15 A

2、尺寸和重量

• 直径d：20.0 mm

• 含灯头长度 (不含针脚/连接装置)L2：127.00 mm

• 冷电极间隙：3.0 mm

• 光中心（LCL）：52.5mm（灯头末端至阳极或阴极(冷)末梢距离）

3、寿命

• 寿命600 h

4、更多的产品数据

• 灯头 (标准名称) SFcY10-4/15

• 阳极灯头 (标准名称) SFcY10-4（备注：带8-32 UNC-3 B螺纹）

• 阴极灯头 (标准名称) SFcY10-4（备注：带8-32 UNC-3 B螺纹）

三、安全建议：

由于HBO灯的亮度高、紫外线辐射高、内压高（加热时），所有它只能在专为此目的设计的密闭外壳内工作。如果灯破裂，会释放水银。必须采取特定的安全措施。更多信息可在与光刻机曝光灯一起随附的产品说明书或操作指示中查找。