工作原理:

微波等离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电，在真空腔内压力到达一定范围时充入工艺气体,当腔内压为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氲、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。

技术特点:

• 等离子密度高，生产效率高，离子运动冲击小，不会产生紫外线辐射，尤其适用于一些敏感电路的制程清洗；

• 微波等离子清洗与传统湿法清洗相比，不需要使用大量的酸、碱、有机溶剂等，不会给环境带来任何污染，有利于环保和人员安全，同时该清洗技术的均匀性、重复性和可控性非常好，具有三维处理能力，可以进行方向选择；

• 微波等离子清洗机与低频或射频放电产生的等离子体相比，它的特点是没有正负电极，自偏压很小，不会产生放电污染，有效防止静电损伤;

微波等离子清洗机 系统组成: 

（1）外壳框架系统

（2）微波放电系统

（3）真空系统

（4）供气系统

（5）控制系统

该设备控制方式为触摸屏+PLC，操作方式包括自动模式和手动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组同的配方。设备设计有工作气体耗尽报警、压缩空气压力低于设定值报警、泵热过载报警、反应仓泄露率过大报警等安全功能。

微波等离子清洗机 技术参数: 

（1）腔体内部尺寸：W225*H225*D225mm

（2）频率：微波2.45GHZ
（3）功率：50-500W可调

（4）气路：标配两路

（5）控制方式：PLC+触摸屏

（6）真空监测：Priani真空计

（7）电源：380V ，50/60Hz

（8）外形尺寸：W850*H538*D600mm