Harrick 气体流量控制器主要应用于处理气体的精密控制、在等离子清洗过程中气体流混合和真空舱内压力监控。

Harrick 气体流量控制器技术参数：

紧凑的台式设备、符合CE 安全标准

两个标准的气体流量计( scfh & scfh)
真空压力传感器 热电偶真空计
压力表 数字压力
压力范围 1 -1999 毫托
气体通路 可同时通2路气体
流量计1 参考刻度值65mm（4~49 mL/min）
49 毫升/分钟的流量 大气（0 PSIG）*
流量计2 参考刻度值65mm（10~104 mL/min）
104 毫升/分钟的流量 大气（0 PSIG）*
流量计精度 满刻度的± 2％
流量计工作压力/温度 200 PSIG / 250℉（121℃）
不锈钢气源输入接口
不锈钢气源输出接口
常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等

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