Harrick Scientific 所生产的等离子清洗器专业用于表面清洗、表面处理和表面分子重组的高科技设备。它具有设计精巧、成本低廉、功能全面等优点;广泛应用于金属、陶瓷、复合材料、塑料、聚合物和生物材料的表面处理。
主要应用领域:
1、 半导体元件、印刷线路板的清洗。
2、 高分子材料表面修饰。
3、 生物芯片、微流控芯片的清洗
4、 芯片、电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片等的清洗。
5、 各种形状的人工晶体、ATR元件、天然晶体和宝石的清洗。
6、 光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片的清洗。
7、 各种陶瓷、金属基片上的残留凝胶等杂质的清洗。
8、 各种医疗器材和仪器的清洗。
9、 增加复合材料、生物分子材料表面的结合力。
我们的大功率扩展型PDC-002-HP等离子清洗机的功率是扩展型PDC-002等离子清洗机的两倍,是一种多功能仪器,适用于蚀刻有机薄膜(10-100 nm)以及表面清洁和改性。
产品特点:
▪ 可调的RF功率设置(低,中,高三种档位);
▪ RF功率为18W;
▪ 配有3“直径x "长的Pyrex派瑞克斯玻璃腔体;
▪ 腔室带有观察窗的铰链门;
▪ 主动风扇冷却;
▪ 真空泵的集成开关;
▪ 1/8“ NPT计量阀,以定性控制气体流量和腔室压力;
▪ 1/8“ NPT三通阀,可快速从引入气体,排气和隔离腔室中切换出来;
▪ 重量:13磅;
▪ 尺寸:"H x 10“ W x 8"D;
可选配项:
▪ 可选PlasmaFlo气体流量混合仪,可定量控制;
▪ 多达两种工艺气体并监控真空压力(真空计);
▪ 可选石英腔体和样品盘;
▪ 兼容真空泵;
技术参数:
迈可诺技术有限公司
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