Microchem SU-8 2000系列 光刻胶 旋涂曲线:

Microchem SU-8 2000系列 光刻胶 产品规格:

Microchem SU-8 2000系列 说明书.pdf
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【Microchem SU-8 2000系列 光刻胶】是基于环氧型树脂的负性光刻胶,在近紫外光范围内吸收率低,具有较好的曝光均匀性;高深宽比:5:1,侧壁垂直性好,光学透明,耐高温,抗腐蚀;光源:Near UV (350-400nm), 推荐i-Line,也可用于E-beam, X-ray。厚度范围:0.5-650m,型号丰富,可根据不同的厚度要求选择型号。
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