产品参数

01.腔体：高真空腔体

02.样品台尺寸：4英寸

03.样品固定：弹簧压片

04.观察窗口：6英寸

05.观察窗口材质：蓝宝石（保证紫外光的透光性）

06.真空度：2帕

07.探针臂接口：4个探针臂接口

08.电学测试接口：3同轴BNC*4、2同轴BNC*2/高压接口10KV*1

09.辅助接口：真空接口、加热器接口、热电阻接口、液氮接口、保护气接口、表面温度热电阻接口*2

10.制冷方式：液氮

11.温度范围：-196℃~600℃

12.温控精度：±0.1℃

13.稳定性：-196℃-常温±0.5℃、常温-600℃±0.2℃

14.外形：650mm长*650mm宽*460mm高

15.重量：约100千克

光学系统

01.显微镜类型：单筒显微镜

02.放大倍率：20X-180X

03.移动行程： X轴行程100MM  Y轴行程50MM  Z轴行程50mm

04.光源：外置LED环形光源

05.CCD：2800万像素

06.显示器：10寸LED

探针臂

01.X-Y-Z移动行程：20mm*20mm*20mm

02.结构：外置探针臂，真空波纹管结构

03.移动精度：10微米

探针组件

01.线缆：同轴线

02.接头类型：SMA

03.漏电精度：10fA

04.固定探针：夹紧固定

05.频率支持：DC-67GHZ

06.针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

高压组件

01.线缆：高压电缆10KV

02.接头类型：香蕉头

其他组件

01.真空组件：机械泵

02.冷源组件：10L液氮罐