产品参数

台体规格：

01.尺寸：6英寸/8英寸/12英寸

02.水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置

03.X-Y移动行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

04.X-Y移动精度：10μm/1μm

05.样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
06.针座平台：U型针座平台，*多可放置6~12个探针座
07.平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm

08.背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

09.温度范围：-80℃~+400℃

10.温度精度：0.01℃/0.1℃/1℃

11.尺寸：840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高

12.设备重量：约40/60KG

光学系统：

01.显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

02.放大倍率：16X-200X/20X-4000X
03.移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm
04.光源：外置LED环形光源/同轴光源
05.CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

定位器：

01.X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm
02.移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
03.吸附方式：磁力吸附/真空吸附
04.线缆：同轴线/三轴线

05.漏电精度：10pA/100fA/10fA

06.固定探针：弹簧固定/管状固定
07.接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
08.针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
09.针尖材质：钨钢；铍铜

探针可选配件：

01.加热台
02.显示器
03.转接头
04.射频测试配件

05.屏蔽箱

06.光学平台
07.镀金卡盘
08.光电测试配件

09.显微镜快速倾仰装置

10.激光系统

11.探针卡夹具

产品特点

01.可用于12英寸以内样品测试

02.采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

03.优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量

04.可升降调节适合加装探针卡

05.可搭配多种类型显微镜

06.结构模块化设计，可无缝升级

06.探针台可根据客户要求定制