技术参数 真空腔体 类型 高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境） 腔体材质 6061铝合金 腔体内尺寸 147mmX72mmX22mm 腔体外尺寸 170mmX95mmX37mm 腔体重量 约1.1KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 腔体抽气口 KF16法兰（其余接口规格可转接） 腔体真空测量口 KF16法兰（其余接口规格可转接） 腔体进气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体冷却方式 腔体水冷+上盖水冷 腔体水冷接口 6mm快拧 或 6mm快插 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） 样品台 样品台材质 高温绝缘陶瓷 样品台尺寸 26x26mm 样品台加热方式 电阻加热 样品台-视窗 距离 13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） 样品台测温传感器 S型热电偶 样品台温度 室温到1000℃（可选1200℃ 短时间加热配置） 样品台隔热材料 金属屏蔽+陶瓷隔热 样品台测温误差 ±1℃ 样品台升温速率 高温100℃/min 值 温控仪 温度显示 7寸人机界面 温控类型 标准PID温控 +自整定 30段编程控温 温度分辨率 1℃ 温控精度 ±1℃ 温度信号输入类型 S （可选PT100热电阻 K B型热电偶） 温控输出 直流线性电源加热 辅助功能 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 温控器尺寸 32cmX170cmX380cm 温控器重量 约5.6KG 探针 电信号接头 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10Pa（冷态） 探针数量 4探针（可扩展5探针） 探针材质 镀金钨针 （其他材质可选） 探针尖 10μm 手动探针移动平台 X轴移动行程 20mm ±10mm（需手动推动滑台） X轴控制精度 ≥500μm R轴移动行程 120° ±60°（需手动旋转探针杆） R轴控制精度 ≥500μm Z轴移动行程 2mm ±1mm Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） 水冷机 冷却方式 压缩制冷 冷却温度 室温到5℃ 冷却水流量 10L/min 冷却介质 纯水 冷却水管接口 6mm快插 循环水箱容量 6L 水冷机尺寸 56cmX28cmX45cm 水冷机重量 约26KG 整机功率 600W
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