技术参数
| 真空腔体 | |||
| 类型 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 | ||
| 腔体内尺寸 | Φ88mmX59mm | ||
| 腔体外尺寸 | Φ112X65mm | ||
| 腔体重量 | 约2.6KG | ||
| 腔体上视窗尺寸 | Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | ||
| 腔体抽气口 | 可扩展KF16法兰 KF25法兰 | ||
| 腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | ||
| 腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选 | ||
| 腔体电接口 | 5KV高压电极，10KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口， | ||
| 腔体正压 | ≤0.1MPa | ||
| 腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | ||
| 制冷接口 | 无 | 3mm液氮管道 | |
| 样品台 | |||
| 样品台材质 | 无氧铜（可选纯银热台） | ||
| 样品台尺寸 | 26x26mm | ||
| 样品台加热方式 | 电阻加热 | ||
| 样品台-视窗 距离 | 48mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | ||
| 样品台测温传感器 | PT100型铂电阻 | ||
| 样品台温度 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ | |
| 样品台测温误差 | ±0.5℃ | ||
| 样品台升温速率 | 高温50℃/min 值 | ||
| 温控仪 | |||
| 温度显示 | 7寸人机界面 | ||
| 温控类型 | 标准PID温控 +自整定 30段编程控温 | ||
| 温度分辨率 | 0.1℃ | ||
| 温控精度 | ±0.5℃ | ||
| 温度信号输入类型 | PT100铂电阻（可选热电阻 K S B型热电偶） | ||
| 温控输出 | 直流线性电源加热 | ||
| 辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | ||
| 温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | ||
| 温控器重量 | 约5.6KG | ||
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