D07-26C质量流量控制器 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入； 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
| 编号 | 项目 | D07-26C |
| 1 | 流量规格 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
| ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ||
| 2 | 准确度 | ±1.5 % F.S. |
| 3 | 线性 | ±1% F.S. |
| 4 | 重复精度 | ±0.2 % F.S. |
| 5 | 响应时间 | ≤10 sec |
| 6 | 工作压差范围 | 0.1 ~ 0.5 MPa |
| 7 | 耐压 | 3 MPa |
| 8 | 温度系数 | Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; |
| 9 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
| 10 | 输入信号 | 0 V ~ +5.00 V |
| 11 | 输出信号 | 0 V ~ +5.00 V |
| 12 | 电插头形式 | DB15 pin（Female） |
| 13 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA |
| 14 | 外形尺寸 | 见图4 |
| 15 | 重量 | 1.1 kg |
注意：质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)
SLM (标准升/分);
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0°C );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min， 0°C，1atm"等同，单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm"等同。
F.S (Full Scale): 满量程值
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