D07-60B气体质量流量控制器 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型 广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业
D07-60B 气体质量流量控制器
产品型号：D07-60BM
★ 高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型
★ 橡胶密封 模拟电路的MFC
★ 国际标准机械接头
| 编号 | 项 目 | D07-60BM | |
| 1 | 流量规格 | 300，500，750，1000，1500，2000SLM | |
| 2 | 准确度 | ± 2% F.S. | |
| 3 | 线性 | ±1% F.S. | |
| 4 | 重复精度 | ±0.2%F.S. | |
| 5 | 响应时间 | ＜ 10 sec | |
| 6 | 工作压差范围 | ＜0.2 MPa | |
| 7 | 耐压 | 3 MPa | |
| 8 | 工作环境温度 | 5~ 45 ℃ | |
| 9 | 输入信号 | 无 | |
| 10 | 输出信号 | 0～5.00V（输出电流≤3mA） | |
| 11 | 阀的类型 | 无 | |
| 12 | 电源 | +15V 50 mA -15V 50 mA | |
| 13 | 外形尺寸 | 见图 3a、3b、3c、3d | |
| 14 | 重量 | 5kg | |
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子MFC/MFM产品中，单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm"等同，单位SLM和“L/min, 0℃,1atm"等同。
F.S. (Full Scale): 满量程值
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