产品用途: PC在线气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。 该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强,阀门采用高压球阀做截止阀,气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。 1.半导体制造行业中气体流量控制 2.各种真空镀膜设备 3.特种材料表面处理 4.气体燃烧控制 5.混和配气系统 6.泄漏探测系统 7.环境检测与分析设备 8.分析仪器的气体流量计量与控制 9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所 技术资料: 产品型号 KT-PCS4Z KT-C4ZS 控制方式 PC软件在线控制 7寸触摸屏智能调节 产品类型 低零漂及温漂型/超高精度型/数字PC控制/快响应型/ 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 可选量程 5sccm-50slm(气体量程根据客户需要可选) 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) 产品精度 ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) 高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±0.5% F.S. 高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. 响应时间 高精度型≤2sec 普通型≤4sec 工作温度范围 (5~45)°C 供电电源 ~85-265VAC 50/60Hz 功耗 40W 进气口压 ≤0.6MPa 连接管道 316不锈钢管道 截止阀类型 手动截止阀 单向阀开启压力 0.02Mpa 压力显示量程 0-0.6Mpa机械压力表 时间设定 0-32000分钟 通信口 USB-485 程序控制 多段程序控制上位机软件控制 5段可编程序(时间-流量随意设定值) 气体转换 有(可更换气体并设置气体系数) 压力显示 不锈钢机械压力表 气体混合罐 有(内部添加扰流挡片混合均匀) 气体加热 无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温-350℃可调) 可选进出气口接头形式 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 抗电磁干扰 有 外形尺寸 550X380X400












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