不锈钢气室+4移动探针参数：

内部有效尺寸 200*150*100 （mm）扩展4探针热台直径30mm

室温到300度 配4芯气密封接头2个，用于阵列信号输出 （具体使用进气口和出气口可根据客户需求匹配）

内部流量计使用的是北京七星华创CS200质量流量控制器，气体和量程可根据客户需求标定出厂。包含混气罐 出气压力表 出气截止阀 电脑通讯模块 不锈钢机壳

CS200质量流量控制器流量计：

CS200气体质量流量控制器，采用传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化，所需流量更加精准

优势：

• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。