软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了的能量分辨率。 和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

产品规格：

·产品规格

·能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）

·获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

·获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

·分光谱仪艙安装位置：

·EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

·FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

·分光谱仪尺寸W 168mm×D 348mm ×H 683mm

·* 从接口包括CCD的距离

·分光谱仪重量25kg

·适用机型

·EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

·SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

产品特点：

·软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了的能量分辨率。
和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

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·系统简介

·开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图

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·SXES、WDS、EDS的比较

·各种分光方法中氮化钛样品的谱图

·即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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·比较表