美Sonix超声波扫描显微镜
型号：ECHO LS
Sonix 非破坏超声波扫描是一款提高生产、简化测试、改进生产率和提高产能的生产和实验室设备。无论是失效分析实验室的详细分析还是生产线检测，Sonix 都能提供一个易于操作的软件解决方案。
﹡WinIC Lab （详细失效分析工具）
﹡WinIC Production （易于操作的、新型的生产工具，专门用于生产的大量分析）
Sonix ECHO LS 可检测 小 0.05 微米的缺陷，它是一款的检测 bump, 堆叠芯片(三维封装)，复杂 flipchip 和传统塑封封装的工具.
使用 ECHO LS 生产软件改进生产产能和提高生产率：
。很容易设定和使用
。监测生产质量
。通过/失效存储
。签定零件
Sonix 探头的频率范围从 10MHz 到 MHz，为能适用于所有类型的应用和材料设计
其它主要特性
。节省洁净室空间
。整体焊接结构（改进平台的稳定性）
。轻便（移动方便）
。可选反射与透射同时进行(快速侦测缺陷)
。减低高度，节省成本
。大面积的扫描区域（可放多个 tray盘或大样品）
。倾斜缸底（为能排水）
。Z 轴探头移动（替代 tray 架子移动）
。可抽出式架子（可摆放夹具和样品）
。设计紧凑（可节省维护成本）
。符合 CE, SEMI S2, NRTL
。在安全盖、槽及门上有静电涂层
规格：
X 轴
定位装置：线性伺服马达，线性伺服马达
精度高,无磨损,无需定期做保养校正
扫描速度：1000mm/秒
马达精度：+/- 0.5 微米
线性光栅尺精度：0.5 微米
扫描面积：350mm
Y 轴
定位装置：步进马达
精度： 0.25 微米
行程： 350mm
Z 轴
定位装置：步进马达
精度 ：0.25 微米
行程： 50mm
夹具
托盘夹具，扫描平台以拖住整个 tray 扫描
机身尺寸和重量
·31 inches X 31 inches X 48 inches
·or 76.66 cm X 76.66 cm X 121.92 cm
·360lbs. or 163.5kg
过滤系统
·循环泵和 5 微米过滤器，有自动水循环系统，可把水中的杂质过滤，大大减少杂质对扫描结果的影响
超声波工具
·DPR500 接接器，带 L2/H4 放大器
·可选 U4 放大器
显示器 . 双显示器
样品槽：590mm×550mm×120mm
超声波扫描频率：1MHz~500MHz
传感器频率选择：5MHz~300MHz
对于塑封器件， 用到75MHz，再高频率无法穿透塑封料
脉冲发生器前级放大器：Pluse2
WinIC 软件
-TAMI：一次扫描可同时获得 多 100 张 C 超扫描图像，在需要时，可自动调节焦距，可看到 IC 所有的分界面，无需重扫，所有的分界面成像比操作者解释波形更直观
-ICEBERG
-WinIC Pro (增国功能和分析)
-WinIC Offline (允许在手提电脑上分做分析)
-Waveform Simulator/Beam Emulator (容易设置)
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