简单介绍 本款晶体退火炉是我公司吸收国外同类产品的基础上，与北京大学东莞光电研究院共同研发出的一款用于晶棒、晶片、新式炉。该炉采用1900型硅钼棒作为发热体和本公司砖利氧化锆内衬炉膛。本款晶体退火炉可在1700℃连续使用，*高温度达1800℃。侧开式炉门，易于样品装载，并可加装通气口，可在氧气或惰型气氛下操作壳体结构，炉膛内部温度稳定度达±1℃，*高温度为1800℃。真空系统采用特种设计，具有操作安全、方便、真空度好，极限真空度可达20KPa，密封性好，真空保持时间长。该气氛可充入高压气体，气氛压力极限值0.1MPa，采用的密封技术，可长时间保压，案例性能好，操作方便。