由于图形化蓝宝石衬底（PSS）可以有效的改善晶体生长质量并提高LED器件光萃取效率，已经成为业内LED生长的主流衬底。然而，外延生长及芯片制作中，无可避免会出现废片现象。本公司结合北京大学的科研成果，利用高温气氛等技术手段，可以去除图形衬底上生长的GaN外延层，从而上乘复活图形衬底，使之可以重新外延生长利用，为外延厂家废片库存问题提供上乘的解决方案。

报废样品

复活后

复活后

使用复活衬底重新外延并制备的芯片测试结果显示，芯片质量和使用正常PSS没有差别，目前的成品率可以达到90%以上。对比效果见下表：