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　　针对日立金属所销售的质量流量控制器（AERA牌，SAM牌）产品，

　　我们成立了咨询中心，同时，开始受理维修服务。

　　需要产品咨询或维修服务，请与我们咨询中心联系。

　　概要

　　质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜，对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构，结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后，我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求，推出高性能数字质量流量控制器，为半导体的制造技术的发展做贡献。

　　产品目录

　　Mass Flow Controllers Aera® FC-R7700 series

　　Mass Flow Controllers Aera® FC-R7800 series

　　Digital Mass Flow Products Aera® FC-DR980

　　Digital Mass Flow Products Aera® Transformer®

　　Pressure Insensitive (PI) Mass Flow Controller Aera® HG200 series

　　Mass Flow Controller SFC1480FX / SFC2480FX series

　　Mass Flow Controller SFC1480G / SFC2480G series

　　Pressure-Based PI Mass Flow Controller PS100 series

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