IDP-3真空泵 产品特点：

1、采用独立马达与轴承的密封设计；

2、系统运行稳定，低噪声、低振动、低泄漏；

3、适配美国Harrick Plasma等离子清洗机；

4、外型尺寸：351x181x140mm

5、电源系统：电压 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)

6、适用于小型等离子体设备把氧气作为工艺气体环境；

IDP-3真空泵 技术参数：

（1）抽速：50Hz,  3 m³  /hr, 1.8cfm

（2）极限压强：2.5X10^-1 torr/3.3X10^-1 mbar

（3）进气口压强：低于1 个大气压/0PSI

（4）出气口压强：低于1.4 个大气压 6.5PSI

（5）进气口法兰：NW16KF 法兰

（6）出气口法兰：1/4NDP

（7）工作温度：-5-45℃/41-113℉

（8）存放温度：-20-60℃/41-113℉

（9）发动机功率：0.16 马力/0.12kW

（10）电源：单相，-220-240VAC，50-60Hz

（11）转速：2600PRM

（12）冷却：空气自然冷却

（13）重量：9.5Kg/21Ibs

（14）漏率：＜1X10 -6 std-cc/sec

（15）噪音：55db/A

（16）进气口震动：1.5mm/sec

（17）注意事项：不要接近易腐蚀，易爆物及特殊气体。