三次元测量仪
。 Vertex X-Y-Z自动机种: 250x150x150mm&300x300x150mm
。 Excel X-Y-Z自动机种:Z轴皆可加高至300m
[650x650x160&1200x900x150&1500x1200x150mm&200mm系列]
。 快速高精度测量床
。超高速尺寸量测
。LED光源应答性优、测量速度快、省电、寿命超长
。环光照明照射方向五圈八向、可任意独立控制照射方向角度
。25-75度、同轴光、环形光、轮廓光源
。光学尺解析度：1um/0.5um/0.1um
。适用：TFT/LCD半导体模具、PCB NOTEBOOK 橡塑料产品、手机、螺丝
。X-Y-Z:2+L/250um
。专业生产影响视觉系统，皆预留加装探针为二机一体
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