JJF1306-2011 X射线荧光镀层测厚仪校准规范
货号AUBAT-1306X
厚度标准块（片）
1级或2级；校准厚度测量重复性；示值误差；示值稳定性；
X 射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器，具有分析测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能，广泛应用于电子、半导体、首饰、材料分析等行业。X 射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理:X 射线管产生的初级 X射线照射在被分析的样品上，样品受激发而辐射出二次 X 射线被探测器接收，此二次辐射具有该样品材料的波长和能量特征，镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系，经多道分析器及计算机进行能谱分析处理后，计算被测样品的镀层厚度。
校准方法：
1厚度测量重复性
在仪器的有效测量范围内，选取一个厚度标准块 (片)，其厚度值大约分布在仪器二分之一量程处，厚度标准块 (片) 的材料的选用与仪器实际测量应用相一致，调用相应测量程序，重复测量该厚度标准块 (片) 10 次，记录仪器测量显示值 h， 计算实验标准偏差。
2示值稳定性
选用 1 块厚度标准块(片)，其厚度值大约分布在仪器二分之一量程处。在 1 h 内每隔 15 min 测量 1组并记录仪器读数，每组测量 10 次，取其平均值作为该组测量结果，共测量 5 组，5 组测量结果中*大*小差值除以厚度标准块 (片) 的实际厚度值的百分数即为仪器的相对示值稳定性。
单次测量时间应不小于 30 s，准直器大小的选择应与实际测量应用时相一致。
3厚度测量示值误差
货号AUBAT-1306X
厚度标准块（片）
1级或2级；校准厚度测量重复性；示值误差；示值稳定性；
X 射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器，具有分析测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能，广泛应用于电子、半导体、首饰、材料分析等行业。X 射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理:X 射线管产生的初级 X射线照射在被分析的样品上，样品受激发而辐射出二次 X 射线被探测器接收，此二次辐射具有该样品材料的波长和能量特征，镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系，经多道分析器及计算机进行能谱分析处理后，计算被测样品的镀层厚度。
校准方法：
1厚度测量重复性
在仪器的有效测量范围内，选取一个厚度标准块 (片)，其厚度值大约分布在仪器二分之一量程处，厚度标准块 (片) 的材料的选用与仪器实际测量应用相一致，调用相应测量程序，重复测量该厚度标准块 (片) 10 次，记录仪器测量显示值 h， 计算实验标准偏差。
2示值稳定性
选用 1 块厚度标准块(片)，其厚度值大约分布在仪器二分之一量程处。在 1 h 内每隔 15 min 测量 1组并记录仪器读数，每组测量 10 次，取其平均值作为该组测量结果，共测量 5 组，5 组测量结果中*大*小差值除以厚度标准块 (片) 的实际厚度值的百分数即为仪器的相对示值稳定性。
单次测量时间应不小于 30 s，准直器大小的选择应与实际测量应用时相一致。
3厚度测量示值误差
首行仪器基准光谱的标定，再按仪器实际应用范围，选取相应材料的 1~5 个标准厚度块，分别对每个厚度标准块重复测量 3 次并记录仪器示值，计算算术平均值h作为该点位的测量结果，各点位的算术平均值h 与厚度标准块的实际值 H,的差值，即为该点位的示值误差。
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