JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

货号:AUBAT-1932T

1.角度标准器

2.延迟量标准样品

3.椭偏角标准样品

4.自准直仪

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JJF1932-2021椭偏仪校准规范适用于波长范围在250nm~2 000 nm 内的偏仪的校准.

计量特性

1波长示值误差

对光谱式椭偏仪: 在 (250~850) nm 波段，不超过0.5 nm (光谱扫描式)或士1.0 nm (多通道式);在 (850~2 000) nm 波段，不超过士4.0 nm。

2 光谱带宽一般不超过士10 nm。

3入射角示值误差一般不超过士0.05°

4椭偏角测量重复性

以空气为自然基准测量，在 (400~800) nm 波段，和 的测量重复性一般不超过士0.03°;其他波段，测量重复性一般不超过士0.06°

5 波片延迟量示值误差在 633 nm 波长，对延迟量名义值 90的波片，一般不超过士4°。

6 椭偏角示值误差

在 633 nm 波长测量椭偏角标准样品时，亚和 的示值误差不超过士0.5°。

校准条件

1 角度标准器:至少具有两光学反射面，其夹角大小满足人射角校准的需要，见7.5。可以是经检定合格的正多面棱体，或经校准的专用棱体;被校准的入射角度一般为 70°或 75°。

2 延迟量标准样品:快轴方位已标出的波片，在工作波长 633 nm 下，延迟量名义值为 90°，不确定度优于0.2°(k=2)，其计量特性可参照 JJF 1497 偏光仪校准规范。

3 椭偏角标准样品:单晶硅表面 SiO薄膜 (至少包含名义厚度 50 nm、120 nm各一片)，区域至少有 5 mm5 mm 范围内偏角 (波长 633 nm)的非均性优于 0.3%(标准偏差/平均值)，年变化量小于 2%，表面干净光洁，以干净塑料专用容器保存。

4. 自准直仪：适用于所考察波段的辅助起偏棱镜(消光比达到 100 000 : 1)，波片和起偏棱镜的旋转、装夹机构。