JJF1331-2011电感测微仪校准规范

AUBAT-1331

测量台架

分度值0.01N测力计，测力仪MPE:±1%

本规范适用于分辨力 (分度值) (0.01~10) um、标称范围 (-1000~+1000) um电感测微仪的校准。

校准方法：

1 漂移量程开关置于*小标称范围挡位，使测头与台架工作面上放置的 5 mm 量块接触调整电感测微仪为任一示值，在连续 2 h 内，读取每间隔 0.5 h 电感测微仪的示值，取2 h 内示值与起始值的*大变化量作为测量结果7.2.3 示值变动性

按 7.2.1 安装的条件下，量程转换开关置于*小标称范围挡位，用测头对同一量块重复测量 9 次，取*大读数和*小读数之差作为测量结果。

2 轴向测头测杆径向受力对示值的影响在台架上放置一5 mm 量块，使测头与量块接触，量程转换开关置于*小标称范围挡位，调整电感测微仪显示任一示值，稳定后沿径向给测头施加 .1N 的力，读取示值的变化量。校准应在垂直于测杆轴线均匀分布的四个方向上进行，取*大变化量为测量结果。

3 测力及测力变化

使安装在台架上的测头处于工作状态，用测力计沿测量方向对测头向上慢慢加力，当电感测微仪分别处于*小示值、零位和*大示值时，读出测力计的示值:然后使测力计慢慢向下移动，当电感测微仪重新处于*大示值、零位和*小示值时，再次读取测力计的示值。取通过零位时两次测力计的读数平均值作为测力的测量结果，取*小示值和*大示值时测力计四次读数与测力值之差**值的*大值作为测力变化的测量结果。