JJG77-2006干涉显微镜检定规程
货号AUBAT-77G
标准单刻线样板组
检定仪器的示值误差
十字线分划板
检定工作台与主光轴的相对位置；辅助成像装置的特性；
干涉显微镜由干涉和显微系统组成，利用光波于涉原理来测量表面粗糙度参数。它是以范围为 530~600nm 的光波波长为标尺，将被测表面与标准光学镜面相比较再经显微系统高倍放大后，来观察和测量被测表面的微观几何形状特性。双光束干涉显微镜主要用于表面粗糙度评定参数 Rz的测量。该仪器可用来测量精密加工零件的表面如平面、圆柱面等外表面，也可用来测量零件表面刻线、镀层等深度。
检定方法：
1仪器的示值误差
块刻线深度在 (0.05~0.20) um 范围，至少选用两块样板，内;另一块刻线深度在 (0.20~1. 00)m 范围之内。将单刻线样板置于仪器了作台上，并对其进行调焦，直至在目镜视场中得到清晰的像。
2辅助成像装置的特性
将十字线分划板置于仪器的工作台上，对十字线分划板调焦，直至在目镜视场中得到十字线的清晰像，并使分划板十字线交点和处于测微目镜视场的仪器的十字线交点重合。然后使分划板成像在影屏上，观察成像质量并测出分划板十字线交点与影屏中心的*大偏移值作为测量结果。
3工作台与主光轴的相对位置
将量块置于仪器工作台上，采用单色光照明，调整仪器使视场内出现清晰的干涉条纹。用测微目镜测出任一相邻干涉条纹的间隔 mi，转动工作台，每转动 90测量一次干涉条纹的间隔 m、m; 和 m，取四次测量中干涉条纹间隔的*大值和*小值，该项测量应在工作台的顺时针和逆时针转动方向上进行，取其*大变化量作为测量结果。
计量性能要求
1 干涉滤光片的特性
干涉滤光片的中心波长范围在 (530~600) nm，波长半宽度不超过 10nm;一年内*大变化不超过 3nm。
2 测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离不超过 0.4mm。
3 测微目镜十字线分划板的指标线 (该指标线为双刻线) 应与毫米刻线平行:十字线分划板运动方向与毫米刻度尺轴线的平行度不超过毫米刻线长度的 1/10。
4 测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线的相符性
当十字线分划板的指标线对准毫米刻度尺的零刻线时，测微鼓轮的零位刻线应对准固定套管上的指标线，其偏移量不超过 1/5 个分度。
十字线分划板的指标线移动 1mm 时，测微鼓轮刻线应转过 100 个分度，其偏移量不超过 1 个分度。
5 测微目镜的示值误差
在任意一周 (1mm) 内*大允许误差: 0.005mm;在全程 (8mm) 内*大允许误差: 0.010mm。
6 光学系统成像质量
7 工作台与主光轴的相互位置
工作台转动时，干涉条纹间隔的变化不超过 10%。在移动工作台 10mm 范围内，物距变化不超过仪器调焦鼓轮的 3.5 个刻度;对于图 2 所示仪器，工作台移动到任意位置时，视场的白光干涉条纹应在视场内。
8 辅助成像装置的特性
照相装置
照相屏幕上的影像应与目镜视场中的像同样清晰，且摄影中心与目镜视场中心应同轴，其*大偏移值不超过 2mm;仪器倒置使用时不超过 3mm。
监视器装置
通过转接物镜和摄像头而成像在监视器中的影像应与目镜视场中的像同样清晰，且摄像头中心与目镜视场中心应同轴，其*大偏移值不超过 2mm。
货号AUBAT-77G
标准单刻线样板组
检定仪器的示值误差
十字线分划板
检定工作台与主光轴的相对位置；辅助成像装置的特性；
干涉显微镜由干涉和显微系统组成，利用光波于涉原理来测量表面粗糙度参数。它是以范围为 530~600nm 的光波波长为标尺，将被测表面与标准光学镜面相比较再经显微系统高倍放大后，来观察和测量被测表面的微观几何形状特性。双光束干涉显微镜主要用于表面粗糙度评定参数 Rz的测量。该仪器可用来测量精密加工零件的表面如平面、圆柱面等外表面，也可用来测量零件表面刻线、镀层等深度。
检定方法：
1仪器的示值误差
块刻线深度在 (0.05~0.20) um 范围，至少选用两块样板，内;另一块刻线深度在 (0.20~1. 00)m 范围之内。将单刻线样板置于仪器了作台上，并对其进行调焦，直至在目镜视场中得到清晰的像。
2辅助成像装置的特性
将十字线分划板置于仪器的工作台上，对十字线分划板调焦，直至在目镜视场中得到十字线的清晰像，并使分划板十字线交点和处于测微目镜视场的仪器的十字线交点重合。然后使分划板成像在影屏上，观察成像质量并测出分划板十字线交点与影屏中心的*大偏移值作为测量结果。
3工作台与主光轴的相对位置
将量块置于仪器工作台上，采用单色光照明，调整仪器使视场内出现清晰的干涉条纹。用测微目镜测出任一相邻干涉条纹的间隔 mi，转动工作台，每转动 90测量一次干涉条纹的间隔 m、m; 和 m，取四次测量中干涉条纹间隔的*大值和*小值，该项测量应在工作台的顺时针和逆时针转动方向上进行，取其*大变化量作为测量结果。
计量性能要求
1 干涉滤光片的特性
干涉滤光片的中心波长范围在 (530~600) nm，波长半宽度不超过 10nm;一年内*大变化不超过 3nm。
2 测微鼓轮微分筒刻线锥面的内棱边与固定套管刻线面之间的距离不超过 0.4mm。
3 测微目镜十字线分划板的指标线 (该指标线为双刻线) 应与毫米刻线平行:十字线分划板运动方向与毫米刻度尺轴线的平行度不超过毫米刻线长度的 1/10。
4 测微目镜测微鼓轮刻线与毫米分划板刻线的相符性
当十字线分划板的指标线对准毫米刻度尺的零刻线时，测微鼓轮的零位刻线应对准固定套管上的指标线，其偏移量不超过 1/5 个分度。
十字线分划板的指标线移动 1mm 时，测微鼓轮刻线应转过 100 个分度，其偏移量不超过 1 个分度。
5 测微目镜的示值误差
在任意一周 (1mm) 内*大允许误差: 0.005mm;在全程 (8mm) 内*大允许误差: 0.010mm。
6 光学系统成像质量
7 工作台与主光轴的相互位置
工作台转动时，干涉条纹间隔的变化不超过 10%。在移动工作台 10mm 范围内，物距变化不超过仪器调焦鼓轮的 3.5 个刻度;对于图 2 所示仪器，工作台移动到任意位置时，视场的白光干涉条纹应在视场内。
8 辅助成像装置的特性
照相装置
照相屏幕上的影像应与目镜视场中的像同样清晰，且摄影中心与目镜视场中心应同轴，其*大偏移值不超过 2mm;仪器倒置使用时不超过 3mm。
监视器装置
通过转接物镜和摄像头而成像在监视器中的影像应与目镜视场中的像同样清晰，且摄像头中心与目镜视场中心应同轴，其*大偏移值不超过 2mm。
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