JJF1682-2017光栅式测微仪校准规范

货号：AUBAT-1682G

1.斜块螺旋副式测微仪检定器

校准5μm级10μm级示值误差； 范围10μm内示值误差 ≦0.25μm

2.钢性表架（有带筋工作台）AUBAT-C100T

校准漂移

JJF1682-2017光栅式测微仪校准规范适用于0.1μm级行程为0~10mm、0.2μm级行程为0~25mm、0.5μm级行程为0~50mm、1μm级~10μm级行程为0~100mm的光栅式测微仪校准。光栅式测微仪 (简称测微仪) 也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪，是以光栅副作为测量元件，将线位移量转换为光电信号，经电路处理并以数字显示位移量的一种长度精密测量仪器。测微仪按其结构分为整体式和分体式两类。整体式测微仪的传感器与显示单元在一整体上。分体式测微仪主要由传感器(含信号电缆)和数显表两部分组成。

校准方法:

1.量块-测微仪检定器组合法

适用于准确度级别为 2μm级~10μm级测微仪示值误

差范围的校准。将测微仪安装在分度值为 0.2μm的斜块螺旋副式测微仪检定器 (简称检定器) 上，转动检定器微分筒使检定器示值为其量程中间位置 (零位)，在检定器工作台面上放置零位量块 (1 mm 量块)，调整表架使测微仪位于距*大量程约 0.1 mm 处测微仪测头位于量块中心，测微仪置零。取下零位量块并依次在检定器工作台面上放置不同尺寸的量块并记录测微仪示值(按测微仪行程等间隔分布受检点，受检点不应少于5 个)，测微仪各测点示值误差。

2.漂移

将测微仪安装在钢性表架（有带筋工作台），使测微仪测杆轴线垂直于带筋工作台，将测微仪测杆压缩至测微仪 1/3 行程左右位置且测微仪测头触及带筋工作台筋条中心，开机 15 min后每 10 min 记录一次测微仪示值，取 1 h 内测微仪示值*大值与*小值之差作为校准结果

3.垂直测量法

钢性表架法（有带筋工作台）

将测微仪安装在刚性表架上，使测微仪测杆轴线垂直于表架工作台，在测头与工作台之间放置量块，调整表架使测微仪位于 2/3 行程位置且测头触及量块中心，提升测微仪测杆重复测量 9 次，以测微仪读数*大值与*小值之差除以 3 作为校准结果。