HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器

针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属

SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

HORIBA SEC-N100系列特征

· 大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM

· 多种通讯方式及电源供给

SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM技术参数

型号	选择通讯方式	选择供电方式
SEC-N102 系列	数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议模拟式通讯 ▶0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供应电源
SEC-N104 系列	DeviceNet™ 通讯	符合ODVA标准
SEC-N105 系列	CC-Link®通讯模拟式通讯 ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA	符合 CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS™ 通讯方式	符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC)
	模拟式通讯
	▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT® 通讯方式	符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4V

· 高精度：±1.0% S.P. (*1)

· 1秒内快速响应 (*1)

· 多气体，多量程解决方案

(*1)包括SEC-N17XR

多气体，多量程的功能可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。

气体质量流量控制器&气体流量计

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。

HORIBA堀场公司介绍

HORIBA 株式会社堀场制作所 (HORIBA, Ltd.)创业于1945年10月17日，遍布26个国家的39家公司组成的堀场集团，是的分析与测量系统供应商。堀场集团向遍布各地的用户大量提供具有水平的分析仪器系统及系列产品，应用范围从汽车发动机尾气排放检测的研发到过程及环境监测、体外医疗检测、半导体制造和计量以及范围广泛的科技研发和质量控制测量。