高压放大器     

图1

二、高压放大器设备参数：

输出电压范围： 0至±10 kV DC或AC峰值

输出电流范围： 0至±10 mA DC或±40 mA峰值(1 ms)输入电压范围： 0至±10 V DC 或AC峰值

输入阻抗： 20 kΩ ，标称值

直流电压增益： 1000 V / V

直流电压增益精度： 优于满量程的0.1％

直流失调电压： 低于±2V

输出噪声：  低于0.5 V rms *

转换速率（10％至90％）：优于700 V /μs

小信号带宽（-3dB）： DC至优于60 kHz

大信号带宽（-3 dB）：DC至优于19.5 kHz

大信号带宽 （1％失真率）： DC至优于9.5 kHz

稳定性

随时间稳定性：低于100 ppm /hr，(不可累积)

随温度稳定性：低于100 ppm /°C

电压监控

比率： 1 V / 1000 V

直流精度： 优于满量程的0.1％

直流偏置电压： 低于±3 mV

输出噪声： 低于20 mV rms *

输出阻抗： 47Ω

电流监控

比率：1V/4mA

直流精度：优于满量程的1％

偏移电压： 低于±10 mV

输出噪声：低于50 mV rms *

带宽（-3dB): DC至高于10 kHz

输出阻抗： 47Ω

三、高压放大器典型应用：

加速器、压电陶瓷、压电薄膜化、离子注入、电容充电、电子束、离子驻入等。