样品特性

材料

固体材料，液态聚合物

尺寸（mm）

150×150×150

光束成型和控制

脉冲选择

集成、自动控制

扫描振镜

10m/s扫描速度，5×5

聚焦

高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mm

SLM（选配）

1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式

位置

类型

XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配）

加工速度

350mm/s

工作区域（mm）

160×160

分辨率（nm）

1

位置精度（nm）

±300

重复性（nm）

±50

稳定度（nm）

3

样品支架

真空夹头

激光参数

激光介质

Yb:KGW

波长

1028±5nm

功率（W）

4（6，8，10选配）

振荡器输出功率（W）

0.7-1.5

脉冲能量（mJ）

1

重频（KHz）

200（600,1000选配）

脉宽

<200fs-10ps（可调）；<80fs（振荡器）

光束质量

M2<1.2

输出脉冲稳定性

<1%RMS

谐波产生器

谐波

SH（515nm），TH（343nm）选配，FH（258nm）选配

转换效率（@200KHz）

>50%（SH），>30%（TH）选配，>10%（FH）选配

软件控制

功率控制

激光输出，电动衰减器

位移台控制

2.5D微加工，3D XYZ指令

控制界面

算法窗口，虚拟或GUI操纵杆

图形或矢量格式

.bmp，.plt