IXION 193 SLM系统是一种单频全固态激光器，用于光学计量、193nm步进光学校准或高功率ArF的带宽控制。其小于80MHz的频谱带宽接近其理论傅里叶极限。该激光器的中心波长可在185至194nm范围内定制，并可在购买时预先配置为固定波长。作为高精度光谱仪的一种选择，系统具有0.001 nm光谱精度。这可以限度地控制激光的光谱调谐。

特点：

● TEM00光束

● 二极管泵浦

● Q开关全固态激光器

● 单频波长193.368nm

应用：

○ 光谱校准

○ 光刻

○ 干涉度量

○ 193nm计量

○ 半导体检测

○ 准分子的种子源

可选项：

○ 图形化用户界面

○ Labview数据库

○ 精确的光谱仪

○ 中心波长：185-194nm

○ CDRH规格快门

产品参数：

所有数据均在重复频率为6 kHz下测得

波长稳定性&光斑轮廓

光谱特性&功率稳定性

激光头尺寸