优势特点：
精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点，其操作使用方便、可任意位置安装、并便于于计算机连接实现自动控制。

规格参数：

1)流量规格：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500）SCCM (0~1，2，3，5，10)SLM

2)准确度：±1.5 %F.S

3)线性：±1 %F.S

4)重复精度：±0.2 %F.S

5)响应时间：电特性：10sec 气特性：≤4sec

6)工作压差范围：（0.1~0.5）MPa

7)耐压：3MPa

8)工作环境温度：5℃~45℃

9)输入输出型号：0V~+5.00V

10)电源：+15V 50mA -15V 200mA

11)重量：1.1kg