微小流量高精度控制，控制稳定、无脉动、无断流，满足薄膜沉积精密工艺要求。
全流道无死区设计，低残留、低吸附，保障超高纯液体输送洁净度。
响应速度快、控流精度高，流量重复性好，提升成膜均匀性与产品良率。
密封安全可靠，低泄漏率，适配易燃易爆、有毒有害特种液体，运行更安全。
数字式显示 + 标准通讯接口，可远程监控、自动调节，易接入自动化产线。
结构紧凑、安装方便，耐温耐压范围宽，适用于半导体、CVD、ALD 等设备配套。
厂家直供，性能对标进口，供货稳定，性价比高，售后响应更快。
格里机电（无锡）有限公司
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