气体质量流量控制器/质量流量计原生半导体极设计，兼具高速、高精、高洁净、高稳定、高原创的五大核心优势。最快50ms极速响应;0.02%F.S.高重复性与+0.05%F.S.高精度;具备EP/双V洁净度可选;HC/镍铬合金特殊接液材质可选;可选全金属密封;可选VCR/IGS/卡套连接方式;可选高、低温机型;可选多类型通讯协议;被广泛应用在半导体制造,如薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗、热处理等设备中。
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