紧凑型表面测量专家在亚纳米范围内

测量解决方案，随时灵活，精确到亚纳米级：这就是新 MarSurf WI 50 和 MarSurf WI 100 所代表的。这些用于研究和质量保证的高精度测量工具可提供可靠的 3D 测量数据，只需很少的步骤即可快速、直观地完成。设计具有用户友好的概念和全分辨率下的高速测量速度，系统能够可靠地获取粗糙度值，即使在极其光滑的表面上也是如此。

由于高清拼接功能，MarSurf WI 50和MarSurf WI 100在较大的测量区域都保持了一致的高分辨率。集成的碰撞检测功能为用户提供的使用安全性——无论是对被测量的零件还是设备本身。

MarSurf WI 50

高测量速度-即使在高分辨率下也是如此

CNC 功能

通过的碰撞检测来保护样品和设备的安全

高清拼接：即使在较大的测量区域，分辨率也始终很高

HDR -功能 16 位

精度

非常光滑的表面

在医疗工程, 半导体等工业领域，对具有特殊性能的极其光滑表面的要求越来越高。这些表面很难用传统的光学或接触式技术来表征。

这就是 Mahr 新白光干涉仪开发的原因：这种光学测量技术使用宽带光的干涉 , 例如白光。因此它允许在几纳米和几微米之间的结构上进行三维轮廓测量。其结果：高精度的形貌数据和表面结构具有很高的垂直分辨率。

关键在于新创的 ICA 技术，该技术结合了目前使用程序分辨率的最佳特性，具有非常高的垂直分辨率和只有 80 皮米的最小噪声，从而制定了新的标准。