催化燃烧过程是在催化燃烧装置中进行的。废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表面而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下氧化，产生二氧化碳和水。
VOCs催化燃烧设备
VOCs催化燃烧设备种类繁多，在加油站、装修、餐饮、干洗、喷涂、化工等行业使用广泛。当前VOCs废气燃烧设备处理方法有数十种，VOCs的末端处理技术包含两类，一类是非破坏性方法，即采用物理方法将VOCs回收；二类是通过生化反应将VOCs氧化分解为没毒或低毒物质的破坏性方法。具体方法上，前者包括冷凝法、吸附法、吸收法和燃烧法。后者有生物法、膜技术、光催化降解和等离子技术。
为了提高热利用效率，降低设备的运行费用，近年来发展了蓄热式热力焚烧技术（RTO）和蓄热式催化燃烧技术（RCO）。
VOCs催化燃烧设备成套装置包括：
一、废气洗涤塔：
废气洗涤塔一般为立式喷淋洗涤填料塔，内部喷头和填料层交替分布。填料具有较大的比表面积，用于增加两种流体间的接触面积。废气由底部进入，经填料层和除雾器后，由顶部排出。液体被水泵送到喷头喷出，向下降落，经填料层回到水箱。废气中的杂质粘附在填料上，后在水流作用下进入水箱，达到截留目的。水箱中的杂质需定期清理，污水需定期排放。
二、光解式催化燃烧设备：
通过破坏、、催化氧化把污染气体为无味气体。C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。通俗的讲光催化氧化就是在外界可见光的作用下发作催化作用，光催化氧化反应是以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将物降解为CO2和H2O及其它成份。
三、催化燃烧处理工艺前处理系统通常选用前处理器、水帘式净化器、喷淋净化器、除尘器、除尘器等配套净化设备及附件。在废气处理中通常会有颗粒物、漆雾、重金属、卤素化合物等混合物。因此，在废气净化之前应把这些混合物进行严格净化。
四、催化燃烧床：由电加热室、催化室、热交换器、阻火器、温度探测器、电动阀门、保温管道组成。利用电加热器来加热生产线产生的废气，使废气在催化剂作用下于280℃-300℃左右转化为co2和h2o并释放大量热，然后通过热交换器对热量再利用。
五、控制系统：由plc电控柜、温度显示仪表、电动阀门执行器及面板模拟流程图等组成。