项目类别 : 曝光机
项目名称 : CCD自动对位曝光机
项目介绍 :
A.一般规格 曝光系统 光源：卤化金属灯，输出功率5KW，双灯 均匀度：≥85%（min/max) 强度：40mw/cm² 有效曝光面积：546*622mm Panel规格 尺寸：254*304.8mm至558.8*635mm(10*12"至22"*25") 厚度：0.05mm(不含铜)至2.0mm 玻璃尺寸 上：L800*W718*8t 下：L716*W628*8t PCB靠操作面中间对位 曝光作业 双面曝光/内层板用底片CCD自动对位系统，每片确认。对准精度±10um 底片尺寸 24"*27" Cycle Time:机械动作12秒+真空延迟+曝光时间 密合模式 真空密合，真空度-300~-500mmHg(附表显示) 操作方式 操作系统：PC系统+PLC+人机界面 机台尺寸 外部尺寸：2962L*2622W*2040H mm 输送面高度：1040mm+50mm(卸下轮子高度可降980) 机台重量：3000Kg 公用系统 电力：AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA 气压源：5~6Kg/cm2 冰水系统：7~11℃，60-80L/min B.系统架构 Panel传送系统 进出料传动：滚轮带动PCB 进料定位：二段式靠边定位，前缘利用滚轮慢速传动定位， 侧边以伺服马达靠边定位 曝光室进出移载：配合线性滑轨，以伺服马达带动移载机构 移载机取置：气缸带动取置架上下，真空吸盘组依板宽手动调整 曝光台框 玻璃对玻璃方式采用高UV透光率玻璃 上台框由伺服马达带动开关，上下框间由四支定位销定位 底片吸附在台面真空槽，PCB以下台框真空吸附 静电消除 于进料段装置上下静电消除棒 冷却 灯源冷却：气冷，内循环直接气冷；灯管寿命保固800小时 灯室冷却：灯头部份为空气冷却，灯管为间接气冷 曝光室冷却：气冷，抽取曝光室内空气，经HEPA过滤后，再经冰水排系统冷却吹入曝光室内，保持曝光室内温度，并控制台面温度 台面温度22℃±2℃ 洁净控制 机台使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客户洁净室等级需求：Class 10000 UV光源监控 光源保护：UV点灯/熄灯/重点灯保护 功率控制：强弱灯切换 状态监视：内建电压、员流、功率及UV强度感测显示 遮光器：旋转开启，装置于灯室内，由马达带动 曝光监控：内建UV能量积算显示 KW数切换 2KW、5KW切换 对位方式 4靶标CCD影像对位 底片固定 台面玻璃沟槽吸真空 调整机构 微步进马达驱动上台框微调机构 控制方式 自动对位及触控式荧幕PC+PLC 视觉光源 LED式CCD背光组 底片对位精度 ±10μm内(不含涨缩) 备注 外观为不锈钢
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