设备概述:
本真空计校准仪采用德国普发专业仪器用高转速分子泵系统和计量级标准真空计,多段式腔室结构。采用动态平衡法+静态比对法相结合的测量方式,用于测量、校准和检定皮拉尼、薄膜规、电离规、复合规等绝大多数真空度测量装置。
主要特点:
真空能力强,配备德国普发专业高转速分子泵系统,更便于余气排空;
压力控制范围大,从低真空规-超高真空规管任意切换检测压力和气体,极限真空可达1×10-6Pa;
采用德国 INFICON CDG CUBE专用标准计量级电容膜片规;
可同时检测 4个不同类型的真空规管,每个检测头单独配有高真空角阀,互不影响;
整机尺寸小,真空腔体可快速到达可检状态,检测效率高;
专用测控软件,Windows系统开发应用,方便在线输出作业,现场曲线可远程监控;
多段式结构,设备配置根据要求可升级度高;
参照技术标准:
BAROCEL 7025 标准计1(电容薄膜真空计,范围105~103,精度0.25%)
BAROCEL 7025 标准计2(电容薄膜真空计,范围103~101,精度0.25%)
BAROCEL
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