SRT-300台式电阻热蒸发PVD系统，采用涡轮分子泵真空组件在高真空环境沉积薄膜。配备三组蒸发舟及精密沉积控制系统，非常适合科研实验或新材料研发使用，适用于快速多层金属或合金沉积工艺。主要特点：即插即用，高抽速成膜快捷方便；三组蒸发舟可快速制作合金膜；预设参数全自动成膜无需人为干预；材料和基板安装方便实用，可沉积φ250的膜片。应用领域：金属和介电膜薄膜传感器的制造光学元件纳米与微电子太阳能电池主要功能配置：φ300mm*200mm(h)圆柱形玻璃腔室6m3 /h涡轮分子泵+双级旋片泵真空获得系统。全量程真空计。三组独立热蒸发舟，不会导致镀材互相污染。两套用于多层薄膜蒸发沉积的直流电源。可选配Co蒸发可沉积合金膜（可选）石英晶体监测系统用于实时厚度测量（1 nm精度）7.5"触摸屏可控制沉积过程和快速数据输入用户友好PLC软件系统，可以通过网络更新配备旋转样品架（可选）2英寸500°C基板加热器（可选）