规格
| CV-2100M4 | CV-2100N4 | |||
测量范围 | X轴 | 100mm | |||
Z1轴(检出器) | 50mm | ||||
上下移动量(Z轴立柱) | 350mm | —— | |||
X轴倾角范围 | ±45° | ||||
分辨力 | X轴 | 0.1μm | |||
Z1轴 | 0.1μm | ||||
驱动方式 | X轴 | 电动(0-20mm/s) | |||
上下移动 (Z轴立柱) | 手动(快速上下动,微动) | —— | |||
测量速度 | 0.02-5mm/s | ||||
直线精度(X轴水平位置时) | 2.5μm/100mm | ||||
指示精度(20℃) | X轴 | ±(2.5+0.02L)μm,L:测量长度(mm) | |||
Z1轴 | ±(2.5+(0.1H))μmH=水平位置上的测量高度±25mm以内 | ||||
测量方向 | 向前/向后 | ||||
测量面方向 | 向下 | ||||
测力 | 30±10mN(3gf) | ||||
测针跟踪角度(以标准配件测针为例) | 向上77°,向下87°(根据表面粗糙度而定) | ||||
尺寸(幅度*深度*高度) | 745*450*885mm | 651*143*138.5mm | |||
重量 | 145.8kg | 5.8kg |
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