URE-2000/600 紫外单面光刻机
1、设备主要技术指标：
(1)光束口径： 650mm×650mm
(2)有效曝光面积：600mm×600mm
(3)分辨力：≤3m
(4)对准精度：1.5m
(5)对准显微镜中心距：75mm-600mm 可调
(6)掩模尺寸：650mm×650mm
(7)样片尺寸：可适应Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm，厚度为 0.2mm～20mm 的多种规格样片；
(8)光源不均匀性：≥ 95%（Ф600mm）
(9)掩模相对于样片运动行程：X: 15mm; Y: 15mm; Z：15mm : 10º
(9)掩模相对于样片运动行程：X: 15mm; Y: 15mm; Z：15mm : 10º
(10)曝光面光强 gt;15mW/cm2（i、g、h 线）
(11)汞灯功率：2500W（直流）
(12)曝光量设定方式：定时（方式 0.1s-9999.9s,设定精度 0.1s）
2．技术主要组成部分
大面积精细胶模图形结构成型机组成主要由：高均匀照明曝光系统、对准工件台系统、CCD 对准系统、计算机控制系统、气动控制系统及辅助设备构成。各系统构成与配置如下:
（1）高均匀照明系统包括：
冷光椭球镜；
2500W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
XYZ 汞灯调节台；
光学系统：椭球反射镜、光栏、快门、平面冷光反射镜 1、平面冷光反射镜 2、蝇眼透镜组、抛物面冷光反射镜；
冷却风扇；
循环水冷系统。
（2）对准工件台系统包括：
掩模样片相对运动台；
转动台；
样片调平机构,自动完成；
样片调焦机构，自动调整；
承片台 10 个：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm；
掩模夹 1 个：650mm×650mm；
抽拉式上下片机构。
（3）CCD 对准系统包括：
光源、电源；
显微镜工作台；
成像光学系统（两套）；
数据采集卡；
CCD 图像处理部件（两套）。
（4）电控系统包括：
大功率汞灯触发电源；
单片机控制系统；
薄膜开关面板；
控制柜桌；
（5）气动系统包括：
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；
电磁阀驱动部件；
气动显示仪表。
（6）其他配套附件
真空泵一台（无油泵、SK-65C 型）；
空压机一台（型、YB-W30 型）；
水冷机一台（H35W 型）；
配套接口管道
3.相关技术资料：
设备使用及维护说明书
出厂检验合格证。
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。