臭氧是通过臭氧发生器制取的。该装置是在两个高压电极之间覆以厚度均匀的解电体，当两极接通高压交流电(一般为10000—20000V)时，电极间发生无声放电。此时，如空气通过放电间隙，氧分子即受到激活而分解成氧原子。被激活的氧原子可自行结合，或与氧分子结合而生成臭氧分子。其生成原理臭氧可通过高压放电、电晕放电、电化学、光化学、 原子辐射等方法得到，原理是利用高压电力或化学反应，使空 气中的部分氧 气分解后聚合为臭氧，是氧的同素异形转变的一种过程。臭氧的分子式为O3。

臭氧消毒作为氯消毒的替代方法，在饮用水处理中被越来越多地应用。试验表明，臭氧几乎对所有细菌、病毒、真菌及原虫、卵囊都具有明显的灭活效果。