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化工行业中的超纯水设备主要应用于电池行业溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合，对于水质要求相对来说不是太高，纯水电导率从/cm-20uS/cm就基本上能满足要求。化工行业用超纯水设备一般采用反渗透作预处理再配上电去离子（EDI）装置，这是目前制取超纯水经济方式，化工行业用超纯水设备也是目前的超纯水制备工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，化工行业用超纯水设备对环境没什么破坏性。

设备优点
1、出水水质具有z佳的稳定度。
2、能连续生产出符合用户要求的超纯水。
3、模块化生产，并可实现PLC全自动控制。
4、不需酸碱再生，无污水排放。
5、不会因再生而停机。
工艺
1、采用离子交换方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用二级反渗透方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
应用领域辑
(1)电子工业：半导体工业超纯水、集成电路清洗用水制备;
(2)电力工业：锅炉补给水制备;
(3)制药行业：医用纯化水的制备;
(4)化学工业：溶液的脱盐提纯;
(5)实验室：分析用超纯水的制备。