1. 产品简介

显影机（WH-XY-01）是汶颢股份自主开发的具有独立知识产权的一款产品， 针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对 7 英寸以下规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔显影效果不可控，上减少操作人员人为因素导致的显影质量问题以及硅片的损坏。

显影机（WH-XY-01）详细说明书下载

显影机主要特点如下：

1）显影池摇晃震荡频率可设定,保证显影液与硅片等接触充分，提高显影效果与质量；

2）可根据显影的载体进行精确设定显影托盘升降位置，从而确定显影液的进入添加量，避免显影液的浪费；

3）显影液可以自动添加与排放，灵活更换；

4）友好的人机界面设计，保证操作人员的使用体验与安全；

5）便携性好，方便在实验室移动；

6）腔体为SUS304材料的耐腐蚀腔体。

2. 技术参数 

震荡方向：顺时针/逆时针 ；

转速：10～300RPM ；

液量控制：50～500mL ；

适配硅片/芯片：≤7 寸 ；

显影时间：0～999s ；

进液速度：0～99% ；

电源输入：AC220V±10V/50HZ ；

功率：150W ；

重量：14 kg ；

外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm ；

工作环境：温度 0℃-40 ℃，相对湿度＜80 %。

3. 特征图解

备注：如需了解产品价格及其他技术内容可咨询我司客服。