西班牙SIR S.A S-5000 多参数气体校准仪操作简便，所需的气体校正水平和校正顺序可以编到仪表的存储器中，通过选择存储的编写序号可以启动校正，从而将现场设置仪表校正的时间缩减到最短。此类校正程序很容易删除或修改，以符合用户的具体要求。操作人员无需进行计算，只需回答S-5000问题：气柱的浓度，零气的流量和所需参数浓度的最终输出，仪表会进行最终的计算，且控制MFC得出需要的浓度。
优势特征：
●通过稀释实现多种气体校正
●可存储已设置的气体校正水平和校正顺序
●可随时连接多达3个外部气柱
●菜单指引的软件操作系统屏，十分便利
●可分别在质量流量控制器、臭氧发生器和紫外光度计上执行内部校正
●可灵活增加质量流量控制器的数量
技术参数
| 稀释系统 |
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| 流量测试的精确度 | ± 0.25% |
| 流量控制的重复性 | ± 0.1% |
| 流量测试的线性 | ± 0.25% |
| UV光度计子系统，带臭氧发生器 | |
| 臭氧发生器输出 | 40 – 1,000 ppb（在总流量5.0 SLPM情况下，可调） |
| 标准量程 | 0 – 1 ppm（臭氧的量程0-500ppb） |
| 精确度 | 0.001 ppm |
| 电源 | 115/220 VAC 50/60 Hz |
| 尺寸 | 座台式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |
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